5月7日，在河北中和芯半導體設備有限公司，技術人員正對高純化學品直供系統設備進行檢測。河北日報記者 郭曉通 攝

　　5月7日，在位于張家口市張北縣電子信息科創園的河北中和芯半導體設備有限公司的廠房里，一個個“柜子”整齊排列，身著工裝的技術人員忙著逐個檢測。

　　“柜子”約1.5米長、1.2米寬、2米高，透過視窗，可以看到里面閥門、樹脂管件、泵、過濾器等部件。“一個‘柜子’的售價在40萬元以上。這一批即將發往安徽、山東等地。”中和芯技術人員方國棟介紹。

　　5月7日，在河北中和芯半導體設備有限公司，技術人員正對高純化學品直供系統設備進行檢測。河北日報記者 郭曉通 攝

　　看似普通的“柜子”，為何有這么高的價格？

　　“這些‘柜子’是我們研發的高純化學品直供系統設備，專門用于生產芯片。”中和芯董事長車占給出了答案。

　　中和芯是一家從事化學電子工藝技術開發應用及設備制造的企業，總部設在北京，2023年6月制造項目落戶張北縣，開啟了“北京研發、張北制造”的運營模式。

　　“一條完整的芯片生產線需要100多種不同設備，我們的產品是芯片生產離不開的設備之一。”車占告訴記者，他們生產的高純化學品直供系統設備，用于芯片濕法制作過程中的蝕刻、顯影、清洗、拋光等工藝環節，可循環使用。

　　在芯片制造過程中，需要將高純凈度、高腐蝕性的液體，以穩定的壓力和流量輸送到加工部位。“液體輸送的純度和精度直接關系到芯片加工的質量。”車占介紹，他們通過優化產品設計，應用新材料，升級軟件，成功解決了設備流量、壓力不穩等問題，“設備中的管路、閥門和泵，不僅耐腐蝕，而且性能穩定。”

　　“我們可以根據芯片制造企業的生產線需求，開展點單訂制服務，提供不同規格的高純化學品直供系統設備。”車占說，他們生產的設備整機設計緊湊，具備液路壓力、漏液、排氣監視，原液取樣、物料無線掃碼識別等功能，“中芯國際、華潤微電子、長電科技等國內多家芯片制造企業，都是我們的客戶。我們的設備還出口越南、老撾等國家。”

　　“這是我們研發的閥門，經過測試已與進口閥門的質量達到同等水平。”車占拿起一個拳頭大的元件說。助力國產芯片產業自主可控，中和芯不斷加大研發力度，一批自主研發的設備和零部件推向市場，除了高純化學品直供系統設備，還有用于硅晶片化學、機械研磨的研磨液供應系統設備，用于危險化學廢液回收處理的環保設備。

　　“張北縣提供了3000平方米的標準化廠房，保障了企業的高效生產，我們的設備訂單已排到了6月底。”車占表示，他們將繼續發揮“北京研發、張北制造”優勢，以技術創新不斷增強核心競爭力。（河北日報記者 郭曉通）