此項目為“高純電子氣體研發及產業化”，已列入國家重大科技專項

　　從邯鄲市科技局獲悉，由位于邯鄲市的中船重工第七一八研究所牽頭，聯合相關單位承擔的“高純電子氣體研發及產業化”項目，日前正式立項列入國家“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家重大科技專項，獲國家財政經費支持1億多元。這也是邯鄲市首次承擔國家重大科技專項。

　　據介紹，作為“高純電子氣體研發及產業化”項目的牽頭和主要承擔單位，中船重工第七一八研究所將組織江蘇南大光電、大連光明化工等單位，共同研究開發集成電路制造工藝用特種氣體制備關鍵共性技術，開發IC制造過程離子注入、擴散、刻蝕等關鍵工藝用電子氣體和源產品，形成批量生產，構建支撐我國特種電子氣體技術發展的人才團隊和研發平臺，為我國極大規模集成電路制造領域持續發展奠定基礎。

關鍵詞：科研項目,國家,支持,邯鄲